Понятный и простой интерфейс
Функции просты и удобны в эксплуатации. Даже новички могут быстро начать работу после непродолжительного обучения.
Расширенные функции автоматизации
Автоматическая контрастность, яркость, автофокус и автоматическая дисперсия изображения настраиваются одним щелчком мыши.
Расширенные функции измерения
Функции управления изображениями, предварительного просмотра и редактирования по таким параметрам, как длина, площадь, округлость и угол.
Отображение данных с нескольких детекторов одновременно
Программное обеспечение SEM2000 поддерживает переключение одним щелчком мыши между визуализацией сигналов SE (secondary electrons - детектора вторичных электронов) и BSE (back scattered electrons-детектора обратно рассеянных электронов). Морфология поверхности и информация о природе образцов может отображаться одновременно.
Электроннооптическая система | Электронная пушка | термоэмиссионный вольфрамовый катод |
Разрешение | 3,9 нм при 20 кВ (SE) 4,5 нм при 20 кВ (BSE) | |
Увеличение | от 1 x до 300 000 x | |
Ускоряющее напряжение | от 0,5 кВ до 20 кВ | |
Система визуализации | Детектор | Детектор вторичных электронов (ETD) |
Опциональные детекторы | EDS, EBSD.. | |
Формат изображения | TIFF, JPG, BMP, PNG | |
Вакуумная система | Вакуум | 5×10-4 Па |
Режим контроля | Полностью автоматический | |
Насосы | Механический и турбомолекулярный | |
Работа с образцом | Диапазон перемещений столика | X: 100 мм Y: 100 мм |