Понятный и простой интерфейс
Функции просты и удобны в эксплуатации. Даже новички могут быстро начать работу после непродолжительного обучения.
Расширенные функции автоматизации
Автоматическая контрастность, яркость, автофокус и автоматическая дисперсия изображения настраиваются одним щелчком мыши.
Расширенные функции измерения
Функции управления изображениями, предварительного просмотра и редактирования по таким параметрам, как длина, площадь, округлость и угол.
Отображение данных с нескольких детекторов одновременно
Программное обеспечение SEM2000 поддерживает переключение одним щелчком мыши между визуализацией сигналов SE (secondary electrons - детектора вторичных электронов) и BSE (back scattered electrons-детектора обратно рассеянных электронов). Морфология поверхности и информация о природе образцов может отображаться одновременно.
Электроннооптическая система |
Электронная пушка |
термоэмиссионный вольфрамовый катод |
Разрешение |
3,9 нм при 20 кВ (SE) 4,5 нм при 20 кВ (BSE) |
|
Увеличение |
от 1 x до 300 000 x |
|
Ускоряющее напряжение |
от 0,5 кВ до 20 кВ |
|
Система визуализации |
Детектор |
Детектор вторичных электронов (ETD) |
Опциональные детекторы |
EDS, EBSD.. |
|
Формат изображения |
TIFF, JPG, BMP, PNG |
|
Вакуумная система |
Вакуум |
5×10-4 Па |
Режим контроля |
Полностью автоматический |
|
Насосы |
Механический и турбомолекулярный |
|
Работа с образцом |
Диапазон перемещений столика |
X: 100 мм Y: 100 мм |