SEM5000 — это многофункциональный сканирующий электронный микроскоп высокого разрешения на полевой эмиссии (FE-SEM, FEG SEM). Особенности: усовершенствованная конструкция колонны, технология высоковольтного туннелирования (SuperTunnel), конструкция магнитной линзы объектива с низкой аберрацией и защитой от утечек для получения изображения с высоким разрешением при низком напряжении, а также возможность применения магнитных образцов. Оптическая навигация, расширенные автоматические функции, продуманное взаимодействие пользователя с прибором и оптимизированная работа.
Основные параметры | Разрешение |
1.0 нм при 15 кВ (SE) 1.5 нм при 1 кВ (SE) 0.8 нм при 30 кВ (STEM) |
Ускоряющее напряжение | 20 В - 30 кВ | |
Увеличение | 1 - 2 500000 x | |
Тип источника электронов | автоэмиссионный катод Шоттки | |
Работа с образцом | Вакуум | 5×10-4 Па |
Диапазон перемещений столика | X:120 мм Y:115 мм Z: 50 мм T: -10° ~+90° R: 360° | |
Программное обеспечение | Навигация | Оптическая навигация, быстрая навигация при помощи мыши |
Детектор | Стандарт | Высокоугловой, встроенный в колонну детектор вторичных электронов Малоугловой боковой детектор вторичных электронов. |
Опции | EDS, EBSD, SED, STEM и другие |
С этим товаром также ищут