Сканирующий электронный микроскоп с вольфрамовым катодом SEM3200
SEM3200 — это высокопроизводительный сканирующий электронный микроскоп с вольфрамовым катодом производства ZHONGTAI (Китай).
Разрешение:
в режиме высокого вакуума: 3 нм при 30 кВ (SE); 8 нм при 3 кВ (SE); 4 нм при 30 кВ (BSE)
в режиме низкого вакуума: 3 нм при 30 кВ (SE）
Увеличение:
от 1 до 1 000 000x （на экране）
Ускоряющее напряжение:
от 0,2 кВ до 30 кВ
Источник электронов:
термоэмиссионный вольфрамовый катод
Особенности SEM3200:
Широкие возможности по дооснащению: SE\BSE\EDS\EBSD и т.д.
Сканирующий электронный микроскоп SEM3200 может быть использован не только для изучения морфологии поверхности, но также для элементного анализа поверхности образца. В дополнение к стандартному детектору вторичных электронов (ETD), детектору обратно рассеянных электронов (BSED) и энергодисперсионному спектрометру (EDS), также могут быть установлены следующие опции: анализ картин дифракции отражённых электронов (EBSD) и детектор для катодолюминесценции (CL).
Оптическая навигация позволяет быстро находить интересующие области
Комбинация изображений (SE+BSE)
Режим низкого вакуума
Изображение деталей поверхности и морфологии образца в условиях низкого вакуума. Программное обеспечение позволяет производить переключение состояния вакуума одним щелчком мыши.
ПРИМЕР. Материал волокнистой трубки фильтра имеет низкую электропроводность и приобретает заряд в условиях высокого вакуума. В условиях низкого вакуума, непроводящий образец можно наблюдать непосредственно без напыления.
- Характеристики
|
Электроннооптическая система |
Электронная пушка |
термоэмиссионный вольфрамовый катод |
|
Разрешение |
Высокий вакуум: 3 нм при 30 кВ (SE);4 нм при 30 кВ (BSE); 8 нм при 3 кВ (SE） Низкий вакуум: 3 нм при 30 кВ (SE） |
|
|
Увеличение |
1 - 300 000x（film） 1 – 1000 000x（screen） |
|
|
Ускоряющее напряжение |
0.2 кВ - 30 кВ |
|
|
Cистема визуализации
|
Детектор |
Детектор вторичных электронов (ETD）-стандарт Опционально: EDS, EBSD, SED для работы в режиме низкого вакуума |
|
Формат изображения |
TIFF, JPG, BMP, PNG |
|
|
Вакуумная система |
Режимы |
Высокий вакуум 5×10-4 Па |
|
Низкий вакуум 5～1000 Па |
||
|
Турбомолекулярный насос
|
≥ 240 L/S |
|
|
Механический насос |
200 L/min（50 Hz） |
|
|
Программное обеспечение |
Навигация |
Оптическая навигация, быстрая навигация при помощи мыши |
|
|
Автоматические функции |
Автоматическая контрастность/яркости, автофокус, автоматическая коррекция астигматизма |