Растровый аналитический электронный микроскоп JSM-7100F
Основной особенностью этого растрового электронного микроскопа является электронная пушка на базе катода Шоттки – пушка особой конструкции, "погружённая" в конденсорную линзу. Цель сочетания термополевого (Шоттки-) эмиттера и особой конструкции пушки – получение совокупности параметров, характерных для микроскопов с "холодным" полевым эмиттером (таких как высокая монохроматичность луча и яркость автоэмиссионной пушки), и параметров, характерных для микроскопов с прямонакальным вольфрамовым катодом (таких как максимальный ток луча и временная стабильность тока луча). Высокий ток луча позволяет использовать методы волнодисперсионного микроанализа и спектрального анализа катодолюминесценции, что невозможно или затруднительно на микроскопах с "холодным" полевым эмиттером.
- Характеристики
| Тип источника электронов | термополевой эмиттер (катод Шоттки) |
| Низковакуумный режим | опция |
| Пространственное разрешение | 1,2 нм (при 30 кВ), 3 нм (при 1 кВ) |
| Энергия электронного луча | от 0,5 до 30 кэВ |
| Увеличение | от 10 до 1 000 000 крат |
| Ток луча | от 1 пА до 200 нА |
| Детекторы | детектор вторичных электронов, детектор отражённых электронов (опция) |
| Аналитические приставки-опции | система энергодисперсионного и волнодисперсионного микроанализа, система текстурного анализа поликристаллических образцов, спектральный анализ катодолюминесценции, охлаждающие (крио) и нагревающие столики образцов, система электронно-лучевой литографии |
| Столик образцов | моторизован по всем пяти осям (X, Y, Z, “поворот”, “наклон”) |
| Система вакуумной откачки | 2 диффузионных насоса, 2 ионных насоса |
| Система шлюзования | включена в базовый комплект |