Растровый электронный микроскоп JIB-4501 Multibeam с ионной пушкой для микротравления

Оформить заявку
  • Растровый электронный микроскоп JIB-4501 Multibeam с ионной пушкой для микротравления

JIB-4501 Multibeam – новая, простая в эксплуатации система РЭМ/ФИП (растровый электронный микроскоп/ионная пушка с фокусированным ионным пучком), объединяющая в себе ионную оптику и самую популярную в мире колонну РЭМ. Прибор JIB-4501 Multibeam обеспечивает высокую производительность в различных вариантах применения, от наблюдения образцов до их ионного микротравления.

Основные характеристики и отличительные особенности системы:

  • Большой ионный ток травления. Повышенная производительность при большой площади травления (максимальный ионный ток травления 30 нА).
  • Высокоразрешающая электронная (LaB6) и ионная оптика обеспечивает получение стабильного изображения для травления/мониторинга процесса травления через длительные интервалы времени.
  • Система фигурного ионного травления. Позволяет проводить фигурное напыление и травление в соответствии с данными бинарного изображения, записанными в виде BMP-файла. Поддерживает режим трехмерного нанотравления с непрерывным доступом к многочисленным данным, записанным в виде файлов изображений.
  • Стандартная шлюзовая система для быстрой и простой загрузки образцов в камеру образцов без нарушения вакуума. Обеспечивает быструю загрузку образцов через шлюз. Максимальный размер загружаемого через шлюз образца: пластина диаметром 150 мм.
  • Контроль травления в реальном времени. Получение изображения в РЭМ одновременно с процессом ионного травления.
  • Полный набор портов для установки всех видов приставок. Большой столик позволяет проводить травление образцов диаметров до 76 мм. Имеется полный набор портов для установки различный типов аналитических приставок, включая энергодисперсионный спектрометр, детектор системы дифракции отраженных электронов, спектрометр катодолюминесценции. Все порты расположены в оптимальных положениях для осуществления непрерывной работы со всеми видами приставок.
  • Выполнение серии последовательных тонких срезов и реконструкция трехмерного изображения. Наблюдение за последовательно выполняемыми тонкими срезами. Реконструкция трехмерных изображений на основе серии тонких срезов.
  • характеристики
Тип источника электронов гексаборид-лантановый катод (LaB6)
Низковакуумный режим есть
Пространственное разрешение 2,5 нм при 30 кВ ускоряющего напряжения
Энергия электронного луча от 0,3 до 30 кэВ
Увеличение от 5 до 300 000 крат
Ток луча 1 мкА максимум
Детекторы детектор вторичных электронов, детектор отражённых электронов
Аналитические приставки-опции система энергодисперсионного и волнодисперсионного микроанализа, система текстурного анализа поликристаллических образцов, спектральный анализ катодолюминесценции, охлаждающие (крио) и нагревающие столики образцов
Система вакуумной откачки 2 гетероионных насоса, турбомолекулярный насос, 2 форвакуумных насоса
Система шлюзования есть
Источник ионов жидкометаллический источник ионов галлия
Пространственное разрешение при 
сканировании ионным пучком
5 нм при 30 кВ ускоряющего напряжения
Ускоряющее напряжение ионной пушки от 1 до 30 кВ
Увеличение при сканировании ионным пучком 30 крат (для широкого поля зрения), от 100 до 300 000 крат
Максимальный ток ионной пушки 30 нА при 30 кВ ускоряющего напряжения
Дополнительное оборудование инфракрасная телекамера в камере образцов, система инжекции газа для прецизионного электронно-стимулированного напыления под электронным пучком

 

Заявка на обратный звонок